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特气系统（可燃性、自燃性、毒性、氧化性、腐蚀性特种气体）压力试验完成后，应进行氦检漏试验，并按要求做好记录。试验完成后，应提交测试报告。同时，特种气体系统还需要做particle（颗粒度）、水分（Moisture）、氧分等的测试。

三项检测：

颗粒度测试，其气体流量应根据管道直径确定，测试气源的颗粒数应在规定颗粒粒径状态为零。测试气体中大于0.1μm~0.3μm的颗粒数应小于或等于35颗粒

/m3，连续三次达标为合格。

水分测试，气体速度应低于设计流速的10%，且小于3m/s,测试气源的水分应小于1ppbv，水分增量应小于20ppbv，测试结束后，应至少保持20min稳定在规定值以下为合格。

特种气体系统氧分测试，气体速度低于设计流速的10%，且小于3m/s，试气源的氧分应小于1ppbv，氧分增量应小于20ppbv，测试结束后，应至少保持20min稳定在规定值以下为合格。

三项检测完成后，需要提交测试报告，且需要用标准格式，详见附件：

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