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特种气体输送系统的配置

发布时间:2022-04-27 | 游览:2590

内容摘要:在现代半导体、科研实验室、综合厂房的集中供气系统中,气瓶柜、气瓶架已经成为钢瓶工艺气体的配套性装置。

在现代半导体、科研实验室、综合厂房的集中供气系统中,气瓶柜、气瓶架已经成为钢瓶工艺气体的配套性装置。大多数特殊性气体,如有毒性、易燃易爆性、自然性气体多放置在特气柜内,大宗普通惰性气体使用气瓶架一般就可以满足用户需求。那么易燃易爆特气柜(GC)和毒性、腐蚀性特气柜的配置一样吗?在设计初期有什么区别和注意事项,我们可以在项目建设初期合理规划布局,从而安全使用。

特气系统的硬件配置需求:

GC、GR可采用单工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(单瓶式)、双工艺气瓶外置吹扫氮气、双工艺气瓶内置吹扫氮气等多种结构配置。GC、GR 应设置作业用气体面板。系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实。气瓶柜闭门时应保持不低于100Pa负压,柜内的排风换气次数不得低于300次/H 。GC板材厚度不得低于2.5mm,并有放腐蚀涂层。GC门应具备自动关闭功能,并配备防爆玻璃观察窗,地脚螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求。

另外,结合不同气体的不同性质,不相容气体瓶严禁放置于同一气瓶柜或气瓶架中。自然性、可燃性、毒性、腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄露侦测器。GC、GR应设置清晰明确的安全标识牌。我们做好规范相应的要求,才能确保用气的万无一失,给业主最大限度的安全保障。

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