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硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高级的硅氢化合物。目前应用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。

硅烷的应用

1，高纯硅烷跟高纯氨气一起用于生产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池表面2，跟高纯乙烯一起用于LOW-E镀膜玻璃的生产

3，高纯硅烷应用于大规模集成电路的外延生长工艺中用作硅源,

4，应用于国防、军事工业的研发、生产

5，硅烷在平板显示生产中也有重要的用途,

6，用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

硅烷操作说明

用一个减压器或独立的控制阀安全地从气瓶内释放硅烷。用单向阀来防止倒流。不要用明火或其它附近的热源加热钢瓶的任何部分。

使用防火花工具。不要试图对装有硅烷的钢瓶进行修理、调节或其他改动。

用氢离子检测器监测硅烷的修理和在空气中的扩散，用红外/紫外监测器监测火灾 。所以的监测器都应有内锁，一旦发现问题立即自动切断硅烷气源。

如果出现故障或其他操作问题，请立即与最近的分销商联系。

硅烷系统中不允许使用填压阀，只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或过流开关。这样可以在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越近越好。

如有可能应避免单独一个人操作钢瓶。所有的操作都应这样进行,一旦发生泄漏，处理紧急情况的人员可以立即赶到。

监测系统应装备备用或应急电源。必须有遥控紧急开关，必要时可关闭硅烷气源。

一定不要拉、滚动或滑动容器。用合适的手推车来移动容器，不要试图抓住气瓶的盖子来拎起它。保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。

不可将工具(如：扳手，螺丝刀，等) 插入阀盖内。 否则会损坏阀门并引起泄漏。

一旦钢瓶与吹扫和钝化过的系统连接好，应缓慢仔细地打开钢瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难，需停止使用，并与供应商联系。

使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖。所有管路和相关设备接地。电器设备必须防火花和防爆。

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