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三氟化氯（chlorine trifluoride）是无机化合物 ，分子式为ClF?，分子量为92.45。有毒，有强腐蚀性，常温下为无色气体，降温变为绿色液体。

可用作氟化剂、燃烧剂、推进剂中的氧化剂、高温金属的切割油等。在半导体工业中，三氟化氯被用于清洁化学气相沉积的反应舱。它具有不需拆卸反应舱就可以清除舱壁附着的半导体物质这一优点。与其它代替的清洁剂不同，三氟化氯在使用前不需经过等离子体激化，因为反应舱残存的热量就足以使它分解并与半导体材料反应。